Notre service de Nituration Si3N4 de wafers Si par LPCVD permet, entre autre, d'obtenir une haute résistance chimique aux acides, sels, métaux fondus, une haute résistivité et résistance à l'oxydation jusqu'à 1500°C.
Dépôt à façon
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Recyclage des cibles
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Découpe de substrats
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